智通财经APP讯,普达特科技(00650)发布公告,本公司控股69.2%的附庸公司芯恺半导体缔造(徐州)有限包袱公司,已从一个客户(该客户)处取得两台半导体低压化学气相千里积(LPCVD)缔造(该等缔造)的样机订单。该等样机订单的收入暂未证据。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及笃信,于本公告日历,该客户超过最终实益领有东说念主为零丁于本公司超过磋磨东说念主士的第三方。 该等缔造为用于12寸半导体晶圆制造的炉管LPCVD缔造,差异针对LP-SiN与ALD-SiN两类关节的薄膜千里积工艺,已
智通财经APP讯,普达特科技(00650)发布公告,本公司控股69.2%的附庸公司芯恺半导体缔造(徐州)有限包袱公司,已从一个客户(该客户)处取得两台半导体低压化学气相千里积(LPCVD)缔造(该等缔造)的样机订单。该等样机订单的收入暂未证据。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及笃信,于本公告日历,该客户超过最终实益领有东说念主为零丁于本公司超过磋磨东说念主士的第三方。
该等缔造为用于12寸半导体晶圆制造的炉管LPCVD缔造,差异针对LP-SiN与ALD-SiN两类关节的薄膜千里积工艺,已资格前期的测磨练证,将差异于2025年5月19日与2025年6月25日寄托至客户的晶圆厂。比拟国产的同类缔造,该等缔造在期间上可完结更高的填充深宽比、均匀性、台阶隐痛率与更低的羞辱,此外该等缔造领有更高的批次坐蓐成果,且具备多种工艺聘用的兼容性。比拟外洋供应商的同类缔造,该等缔造具有同等水平的期间性能与更优的性价比,可为客户提供更具轮廓竞争力的惩办有蓄意。
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